ການເຄືອບສູນຍາກາດ-ວິທີການເຄືອບ Crystal ທີ່ມີຢູ່ແລ້ວ
ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ
ວິທີການເຄືອບໄປເຊຍກັນທີ່ມີຢູ່ແລ້ວປະກອບມີ: ການແບ່ງໄປເຊຍກັນຂະຫນາດໃຫຍ່ເຂົ້າໄປໃນພື້ນທີ່ເທົ່າທຽມກັນໄປເຊຍກັນຂະຫນາດກາງ, ຫຼັງຈາກນັ້ນ stacking ຫຼາຍຂອງໄປເຊຍກັນຂະຫນາດກາງ, ແລະການຜູກມັດສອງໄປເຊຍກັນຂະຫນາດກາງທີ່ຕິດກັນດ້ວຍກາວ;ແບ່ງອອກເປັນຫຼາຍກຸ່ມຂອງພື້ນທີ່ເທົ່າທຽມກັນ stacked ໄປເຊຍກັນຂະຫນາດນ້ອຍອີກເທື່ອຫນຶ່ງ;ເອົາໄປເຊຍກັນຂະຫນາດນ້ອຍເປັນ stack, ແລະຂັດຂ້າງ peripheral ຂອງໄປເຊຍກັນຂະຫນາດນ້ອຍຫຼາຍເພື່ອໃຫ້ໄດ້ໄປເຊຍກັນຂະຫນາດນ້ອຍທີ່ມີພາກສ່ວນຂ້າມວົງ;ການແຍກຕົວ;ເອົາໄປເຊຍກັນຂະຫນາດນ້ອຍຫນຶ່ງ, ແລະນໍາໃຊ້ກາວປ້ອງກັນໃສ່ຝາຂ້າງ circumferential ຂອງໄປເຊຍກັນຂະຫນາດນ້ອຍ;ເຄືອບດ້ານຫນ້າແລະ / ຫຼືດ້ານກົງກັນຂ້າມຂອງໄປເຊຍກັນຂະຫນາດນ້ອຍ;ເອົາກາວປ້ອງກັນຢູ່ດ້ານຂ້າງຂອງໄປເຊຍກັນຂະຫນາດນ້ອຍເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຜະລິດຕະພັນສຸດທ້າຍ.
ວິທີການປຸງແຕ່ງການເຄືອບໄປເຊຍກັນທີ່ມີຢູ່ແລ້ວຈໍາເປັນຕ້ອງປົກປັກຮັກສາກໍາແພງຂ້າງ circumferential ຂອງ wafer ໄດ້.ສໍາລັບ wafers ຂະຫນາດນ້ອຍ, ມັນງ່າຍທີ່ຈະເຮັດໃຫ້ມົນລະພິດໃນດ້ານເທິງແລະຕ່ໍາໃນເວລາທີ່ນໍາໃຊ້ກາວ, ແລະການດໍາເນີນງານແມ່ນບໍ່ງ່າຍດາຍ.ເມື່ອດ້ານຫນ້າແລະດ້ານຫລັງຂອງໄປເຊຍກັນຖືກເຄືອບຫຼັງຈາກສິ້ນສຸດ, ກາວປ້ອງກັນຕ້ອງໄດ້ຮັບການລ້າງອອກ, ແລະຂັ້ນຕອນການດໍາເນີນງານແມ່ນຫຍຸ້ງຍາກ.
ວິທີການ
ວິທີການເຄືອບຂອງໄປເຊຍກັນປະກອບດ້ວຍ:
●ຕາມ contour ຕັດ preset ໄດ້, ການນໍາໃຊ້ laser ກັບເຫດການຈາກດ້ານເທິງຂອງ substrate ເພື່ອປະຕິບັດການຕັດດັດແກ້ພາຍໃນ substrate ເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຮັບຜະລິດຕະພັນລະດັບປານກາງທໍາອິດ;
●ການເຄືອບດ້ານເທິງ ແລະ/ຫຼື ດ້ານລຸ່ມຂອງຜະລິດຕະພັນລະດັບປານກາງທຳອິດເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຜະລິດຕະພັນລະດັບປານກາງທີສອງ;
●ຄຽງຄູ່ກັບການຕັດ contour ທີ່ກໍານົດໄວ້ກ່ອນ, ດ້ານເທິງຂອງຜະລິດຕະພັນລະດັບປານກາງທີສອງແມ່ນ scribed ແລະຕັດດ້ວຍ laser, ແລະ wafer ໄດ້ຖືກແບ່ງອອກ, ເພື່ອທີ່ຈະແຍກຜະລິດຕະພັນເປົ້າຫມາຍຈາກອຸປະກອນການທີ່ຍັງເຫຼືອ.
